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SEM納米壓痕儀能夠提供在光學顯微鏡和電子顯微鏡下，實時表征和觀察微/納米尺度材料機械力學性能。通過高分辨率的力傳感器、位移傳感器以及自動控制方法，可記錄力學性能表征測試過程中，材料表面被壓入的深度和負載數據，形成力-位移曲線。
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